分子泵是依靠大量叶片旋转,将动能传给气体分子,是气体分子获得动能,来达到抽真空效果。只能在高真空下才能正常工作,正常启动需要真空度达到5Pa以下。
当真空泵停止运行时,泵内的液体回落到液体源,泵体及吸液管内充满了空气。当再次启动时,叶轮抽吸空气,虽能形成一定的负压,但该负压尚不能将空气下面的液体连带提升上来,因为液体的重力作用,当负压达到一定值时,空气可从叶轮中返回,所以空气无法再从叶轮中抽出。
结构特点
复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内((10-6~1Pa)具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。法国Alcatle公司生产的一种采用气体静压轴承和动密封的复合分子泵,可以做到完全无油,且不用前级泵直接向大气中排气。
分子泵启动条件(1)转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。
(2)气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。
磁悬浮分子泵工作原理它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为:
1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
分子泵的工作原理和工作流程是怎样的?如果直接暴露在大气压下会导致泵内压力过高,从而碎泵。分子泵是一种机械式增压泵。通过动翼将分子流导入,再通过静翼阻止气体分子的返流,如此将气体分子进行层层压缩,达到抽气效果。分子泵需要前级泵将压力抽至几十Pa时才能启动工作,分子泵用在提高真空的环境。
复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。
法国 Alcatle 公司生产的一种采用气体静压轴承和动密封的复合分子泵,可以做到完全无油,且不用前级泵直接向大气中排气。
盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽,然后将数块圆盘串接起来构成,型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。
复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种,一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在 l0 级以内。
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